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用于测量液体粘度的MEMS芯片及其测量方法

761   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:18
本发明提供了一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还设有与所述第一驱动电极对应的第二驱动电极；所述储液池用于收容待测量液体；所述悬臂梁用于测量该液体的粘度变化。本发明的MEMS芯片结构更加简单，生产成本更低，生产效率更高，并且可广泛应用于医疗卫生、石油、化工、冶金、国防等技术领域。另外，采用本发明的MEMS芯片测量液体粘度的测量方法，检测精度更高，与IC兼容性更高，更适合个人化与家庭化的使用。
声明：
“用于测量液体粘度的MEMS芯片及其测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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