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仿生硅化钼梯度叠层复合纳米涂层制备工艺

917   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:18
仿生硅化钼梯度叠层复合纳米涂层制备工艺，利用双阴极等离子溅射沉积法，在钛合金工件表面形成致密的纳米晶硅化物层，其中对双阴极等离子溅射工艺参数进行了选择，溅射的靶材种类：成分配比为Mo0.35-55(Si0.95,Al0.05)0.65-45粉末冶金烧结板为靶材；工件材料的种类：钛合金。该梯度复合纳米晶硅化物涂层具有高韧性、高硬度以及优异的耐腐蚀性，能明显提高钛合金的耐磨性、耐腐蚀性能和抗氧化性能。
声明：
“仿生硅化钼梯度叠层复合纳米涂层制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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