本发明提供一种热压法制备高纯微观组织可控的钼铌合金靶材方法,通过热压方法制备高致密的钼铌合金溅射靶材,致密度可达到99%以上,采用氮化硼和石墨的组合模具可以有效阻止渗碳现象,获得高致密高纯的微观组织可控的钼铌合金靶材,降低了烧结温度,降低成本。同时,克服了
粉末冶金工艺致密度低的现象,熔炼铸造的组织粗大、成分不均匀,热等静压成本过高的缺点。
声明:
“热压法制备高纯微观组织可控的钼铌合金靶材方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)