高纯致密异型钨制品的制备方法,属难熔金属加 工领域。目前所用的钨制品均采用
粉末冶金的方法制得,无法 制备薄壁、复杂形状的钨制品。本发明以铜制作具有所需钨制 品形状的仿体;将上述铜仿体表面用有机溶剂洗净、干燥后放 入反应室内;以WF6和高纯 H2为沉积反应气体;沉积反应在 常压下进行;沉积反应温度在400℃~800℃,反应气体配比范 围为:1L/min H2流量对应1- 5g/min WF6通入量;控制沉积速 度V≈0.5-2mm/h;沉积后关闭气体,继续通入 H2冷却到室温、取出、切割打磨 仿体后用硝酸溶解或加热熔化异型仿体。本发明生产效率高、 工艺简单、操作方便,获得钨制品纯度高、高致密度、且形状 任意、壁厚均匀。
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