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新型有序层状结构Cr/CrxN/MxOy复合阻氚涂层及其制备方法

659   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:09
本发明提供一种新型有序层状结构Cr/CrxN/MxOy复合阻氚涂层及其制备方法，该涂层由金属Cr层、金属氮化物CrxN层、阻氢氧化物MxOy三层有序复合而成。MxOy中M表示不同金属元素，包括Al、Zr、Er、Y、Cr等阻氚涂层领域常见的金属元素，且MxOy涂层可表示单元金属氧化物或者二元、三元等多元金属氧化物以及他们的混合物涂层。该复合阻氚涂层一方面增加了氚在涂层中的扩散路径，增加了涂层扩散界面，有效提高了涂层的阻氚性能，另一方面引入金属Cr层和CrxN，可与基材形成冶金结构，避免薄膜开裂和剥落，明显提高膜‑基结合力，且氮化铬可有效缓解金属氧化物与基材热失配问题，提高涂层的抗热震冲击性能。
声明：
“新型有序层状结构Cr/CrxN/MxOy复合阻氚涂层及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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