本发明属于冶金熔炼领域,特别涉及一种电子束熔炼
多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备,该方法首先将炉体和电子枪抽真空,启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼,熔炼初步去除杂质氧;在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧,最后通过水冷传输带引导进入铸锭装置中,进行定向长晶,得到多晶硅铸锭,该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件,铸锭耦合组件包括铸锭装置,铸锭装置位于水冷传输带下方,且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方,本发明首次提出了电子束熔炼除氧的工艺方法和用途,实现了电子束除氧的效果,同时结合铸锭耦合,降低了铸锭加热原料所需的能耗,大大提高了生产效率。
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“电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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