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具有集成式换热器的反应器在将四氯化硅加氢脱氯方法中的应用

979   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:02
本发明涉及四氯化硅和氢气在改进的加氢脱氯反应器中反应生成三氯硅烷的方法。本发明进一步涉及这种改进的加氢脱氯反应器作为设备的组成部分在用于从冶金硅制备三氯硅烷中的应用。
声明：
“具有集成式换热器的反应器在将四氯化硅加氢脱氯方法中的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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