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氧化锌镁靶材及制备方法

910   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:01
本发明公开了一种氧化锌镁靶材及制备方法，属于半导体光电材料、磁控溅射镀膜和粉末冶金烧结技术领域。方法包括以下步骤：按设计组分别取ZnO和MgO粉末原料；采用分段球磨、湿法制坯、分段脱脂、分段烧结、机加工、磨制等工艺，对粉末原料进行处理；按本发明提出的方法，可获得一种致密度高、纯度有保障、无缺陷、晶粒均匀且细小、不容易开裂的氧化锌镁靶材成品。
声明：
“氧化锌镁靶材及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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