本发明提供一种高致密、高界面结合的Mo/Ag层状
复合材料的制备方法。该方法在Mo层表面首先采用离子注入技术注入Ag,形成Mo/Ag合金层;然后采用磁控溅射技术沉积Ag层,利用磁控溅射过程中高能银离子对Mo层表面的轰击效应,沉积得到平整致密的Ag层;最后通过退火处理,促进Mo/Ag界面处原子的相互扩散,形成冶金结合。制得的Mo/Ag层状复合材料具有高致密性欲高界面结合力,可用于对致密性与界面结合要求高的场合,例如,用于空间飞行器
太阳能电池互连片等。
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“高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)