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增强光电性能Zr元素掺杂AZO靶材

778   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:48:02
Zr元素掺杂AZO靶材, 采用粉末冶金法工艺方法，将原料粉ZrO2粉与AZO粉混合，使掺杂的ZrO2含量为0.5％，然后对原料粉体进行球磨处理，得到粒度细而均匀的类球形颗粒；将处理过的粉末进行装模；装模后进行冷等静压，压力范围100MPa～200MPa，而后进行烧制，烧制温度范围为1200℃～1500℃；目的是优化晶体结构和表面形貌，增强AZO薄膜的光电特性，提高薄膜的稳定性。从而完善薄膜性能、降低反应温度、提高控制精度、降低制备成本和适应大规模生产。
声明：
“增强光电性能Zr元素掺杂AZO靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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