本发明公开了一种敏感组件卡装式薄膜压力传感器及制造方法,制造方法包括分别制造接压件、敏感组件、壳体等,将各部件组装并进行疲劳和高低温试验制成敏感组件卡装式薄膜压力传感器。由于采用弹性体与接压件结构分体设计,弹性体组件通过挤压紧密接触方式与接压件密封。弹性体组件一旦在疲劳、高低温老化、引线、焊接等工艺过程中出现问题时容易更换,不至于整个产品报废。这样,敏感组件卡装式薄膜压力传感器同时具有精度高、稳定性好、可靠性高、工作寿命长、成本低等优点。该产品可应用于航空航天、武器装备、石油化工、冶金、能源、交通、工业过程控制、物联网等领域。
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