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在锆表面渗镀铂薄膜的方法

1042   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:34
本发明公开了一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法，其方法为：将经预处 理后的锆工件置入带有加热装置的真空离子镀膜机，预抽真空至1×10-3Pa， 加热工件至500℃～800℃，保温一定时间，通入氩气，调节真空度至1～ 9×10-1Pa，对工件加载负偏压800～2000V，开启装有铂溅射靶的溅射源； 调节负偏压至100～500V，再沉积一定时间，关闭溅射源，直到锆工件温 度低于100℃后取出。本发明通过控制镀膜工艺参数可制备0.1～10μm的 铂扩渗层和0.1～50μm铂沉积层，制备的铂扩渗层与基体锆没有明显的界 面，呈冶金结合。
声明：
“在锆表面渗镀铂薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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