本发明提供了一种制备超细微高纯难熔金属粉末的方法,属于冶金和材料制备技术领域,包括以下步骤:在蒸发容器内将难熔金属卤化物加热蒸发,使其蒸气压达到0.1‑1atm;将难熔金属卤化物蒸气和高纯氢气输送到反应器内发生均相还原反应,得到难熔金属的超细粉末以及反应尾气;分离反应尾气,收集难熔金属超细粉末并对其进行真空热处理;对经过步骤三处理的难熔金属超细粉末进行表面钝化处理;最后取出金属粉末产物。
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