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TI-SI-N纳米涂层的制备方法

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:13
一种TI-SI-N纳米涂层的制备方法,属于工、模具涂层的制备方法,解决现有反应磁控溅射法所制备涂层在工作环境下易于脱落的问题,实现过渡层与涂层之间的冶金结合,从而提高涂层的力学性能。本发明包括:(1)预处理步骤;(2)溅射清洗步骤;(3)离子渗氮步骤;(4)制备过渡层步骤;(5)制备表面层步骤。本发明生产效率高、成本低,制备的涂层与金属陶瓷刀具基体的临界载荷LC≥65N,表面显微硬度HV≥3400,适于制作用于高速干式铣削不锈钢、铁基高温合金、高强结构钢、耐磨铸钢和玻封合金等难切削材料的涂层刀具,在汽车、航空、航天和能源装备等制造行业具有很好的推广应用前景。
声明：
“TI-SI-N纳米涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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