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带有开槽金属的基板及相关方法

1041   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:13
提供了带有开槽金属的基板及其方法。依照一个方面,附加在基板的开槽金属可包括加工出槽图案的金属,所述槽小于或约等于2微米,其中所述槽使得线宽近似为未形成图案层中单个冶金颗粒的尺寸。
声明：
“带有开槽金属的基板及相关方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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