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激光双轴差动共焦诱导击穿-拉曼光谱成像探测方法与装置

753   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:12
本发明属于光谱测量及成像技术领域，涉及一种激光双轴差动共焦诱导击穿光谱-拉曼光谱成像探测方法及装置，可用于样品的微区组分与形态参数的高空间分辨成像与探测。该方法与装置利用激光诱导击穿光谱探测样品组分的元素组成信息；利用拉曼光谱探测样品的化学键与分子结构信息；利用双轴差动共焦技术探测样品表面形貌信息，双轴差动结构具有大视场、大工作距的优势，可对样品准确定焦，保证照明光斑最小，提升光谱激发效率；三者联用可实现结构共用和功能互补，实现样品的形貌和组分信息的综合测量。本发明具有高空间分辨，物质组分信息丰富和测量聚焦光斑尺寸可控等优点，在矿产、冶金、空间探测、环境监测、生物医疗等领域有广泛的应用前景。
声明：
“激光双轴差动共焦诱导击穿-拉曼光谱成像探测方法与装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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