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钼铌合金溅射靶材的制备工艺

921   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:10
本发明属于冶金材料技术领域，具体涉及一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺，包括制粉、成型、真空烧结和机械加工步骤，所述制粉包括以下步骤：将钼粉和铌粉按照重量比为6?10 : 1的比例装入球磨机中，然后加入过程控制剂和氧化锆磨球，在氩气保护下进行球磨，过筛，分离得到钼铌合金复合粉末；所述过程控制剂和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0.01?0.05倍、5?20倍；所述的过程控制剂为硬脂酸锌、棕榈酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一种或几种。本发明所得钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞，平均晶粒尺寸为40?65μm，其密度≥9.85g/cm3，性能优异，可广泛的应用于平面显示器等领域。
声明：
“钼铌合金溅射靶材的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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