本申请涉及
粉末冶金技术领域,公开了一种TiAlZr靶材及其制备方法。该方法通过选择一定比例的TiZr合金粉、Al粉或者TiZr合金粉、Ti粉及Al粉作为预合金粉末,然后将粉末装入包套中经过脱气、HIP来制备TiAlZr合金靶材。本申请的制备方法可获得相对密度>99%,晶粒尺寸均的靶材,且可有效解决含Zr粉末冶金靶材在制备过程中Zr易燃易爆的危险性问题。
声明:
“TiAlZr靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)