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超级合金溅射靶

825   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:07
本发明包括超级合金靶，其中该超级合金靶具有随机晶粒取向的多晶结构，该结构中的平均晶粒尺寸小于20μm，并且该结构中的孔隙率小于10％。此外，本发明包括通过粉末冶金生产制造超级合金靶的方法，其中所述粉末冶金生产从超级合金的合金粉末开始并且包括合金粉末的放电等离子体烧结(SPS)步骤。
声明：
“超级合金溅射靶” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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