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利用多晶硅铸锭炉进行高效定向凝固除杂的工艺

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:06
本发明涉及冶金法多晶硅生产中高效定向凝固除杂的工艺。其技术方案是:a.预热:对坩埚中的硅料进行缓慢预热,预热真空度达到0.8Pa以下,预热温度范围:室温～1200℃,预热时间:6～10h,预热中要求完全保温;b.熔化:缓慢充入氩气至60Pa,保持一定的熔化真空度;温度为1200℃～1550℃之间,时间为5～7h,保温;c.真空:停止充入氩气至5Pa,保持1h,再缓慢充入氩气至60Pa;温度为1550～1440℃之间,真空降压、升压,时间为2～3h;d.定向凝固结晶:连续充入氩气保持60Pa;温度为1440℃～1420℃;时间:22～26h,保温隔热笼逐步开启;e.冷却:连续充入氩气保持80Pa;降低功率1～1.5h后温度降至1200℃,关闭功率后至300℃;冷却时间为10～13h;保温隔热笼开启。使用本发明提纯除杂效果良好。提纯除杂后中金属杂质含量产品达到了6N～7N太阳能多晶硅的等级要求。
声明：
“利用多晶硅铸锭炉进行高效定向凝固除杂的工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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