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大型三氯氢硅合成装置及合成方法

1021   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:06
一种大型三氯氢硅合成装置,为筒形结构,上部筒体直径扩大部分是气固分离段,该段设有出料口,中部的直筒段是反应段,反应段外包加热器,加热器上方设有硅粉进料口,底部连接下封头,下封头上开有氯化氢进气口,下封头还开有排渣口,其筒体的反应段底部的氯化氢进气口上方设置气体分布板,气体分布板上分布有气孔,筒体内置有内换热套管,内换热套管与筒体外的热媒进管和热媒出管连通。本发明解决了规模化生产三氯氢硅的问题,具有拆卸方便、合成能力大、反应稳定、原料利用率或转化率高、产品中三氯氢硅含量高的特点。主要用于有色冶金、电子材料和化工等领域。
声明：
“大型三氯氢硅合成装置及合成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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