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铬管靶材的绑定方法

998   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:02
本发明提供了一种磁控溅射镀膜用铬管靶材的绑定方法。该方法包括在铬管靶材的背管外表面采用电镀工艺制备金属涂层作为绑定层；利用热等静压工艺使铬管靶材层通过绑定层与背管达到冶金结合，实现铬管靶材的绑定。本发明所述的铬管靶材的绑定方法可以使铬管靶材层通过绑定层与背管实现冶金结合，把铬管靶材层在溅射镀膜过程中产生的热量及时传递到背管内冷却，防止铬管靶材层出现开裂，保证溅射镀膜顺利进行。
声明：
“铬管靶材的绑定方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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