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溅射靶用靶材的制造方法

1003   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:01
本发明公开一种靶材的制造方法,是利用粉末冶金法制造溅射靶的靶材的方法,其包括:对于每一个成型后的被烧结体,从该被烧结体的一端开始进行烧结的加热工序;该加热工序优选为,对每一个所述被烧结体,使该被烧结体同时跨过两个以上的设为不同温度的相邻区域、一边搬送一边加热的工序。根据本发明,在加热工序中,对于每一个被烧结体,升温时通过在其两端设定温度差,可以从一端开始顺序加热,从而进行烧结,即,在制造长尺寸以及大型的靶材时,也可以使烧结工序从被烧结体的一端开始顺序进行,使该烧结体的由烧结引起的收缩也顺序产生,因此,可以提高最终获得的靶材的密度,改善密度不均的同时还可以防止发生弯曲变形以及裂纹。
声明：
“溅射靶用靶材的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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