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具有改进的机械可靠性和热可靠性的半导体装置

650   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:01
本发明提供一种具有由特定区域(202)的铜接触垫(210)和在垫区域上以冶金学方式附接到所述铜垫的合金层(301)制成的焊料接点的装置。所述合金层含有包括Cu6Sn5金属间化合物的铜/锡合金和包括(Ni，Cu)6Sn5金属间化合物的镍/铜/锡合金。包括锡的焊料元件(308)在所述垫区域上以冶金学方式附接到所述合金层。在回流工序之后没有剩下原始薄镍层的任何部分。铜/锡合金有助于改进跌落测试性能，镍/铜/锡合金有助于改进寿命测试性能。
声明：
“具有改进的机械可靠性和热可靠性的半导体装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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