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化学气相沉积设备

1011   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:35
本发明涉及高熔点金属(难熔金属及贵金属)化学气相沉积制备所用的专用设备。设备由3部分组成:(一)主体结构;(二)动力传动装置;(三)气体调配系统。主体部分结构由5个功能部件组成,分别为:沉积室(I),密封室(II),蜗轮箱(III),升降操纵箱(IV),热电势信号接转装置(V)。本发明在于实现基体沉积件在高温、高真空或多种气氛(氩气、氧气、氯气、一氧化碳以及甲烷等)条件下,按设定参数进行材料的沉积,基体可进行轴向圆周、螺旋以及自动循环运动。输入温度、气氛压力和流量均可精确控制。所制备的难熔金属和贵金属材料的致密性达到或接近理论密度,硬度(耐磨性)超过熔铸和粉末冶金法生产的同类材料。
声明：
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