本发明公开了一种制备Ti
5Si
3高温合金膜的方法,属于冶金技术领域,其工艺步骤为:(1)采用无水氯化钙为熔盐电解质,二氧化硅以及二氧化钛为原料,氧化钙为助溶剂,形成电沉积系统;(2)以石墨片作为阴极,石墨棒作为阳极,在850℃恒电流/恒电压条件下电沉积制备Ti
5Si
3高温合金膜;(3)本发明可通过周期性加入二氧化硅以及二氧化钛原料,实现连续制备厚度可调的Ti
5Si
3高温合金膜。本发明可在较低温度(850℃)条件下,实现直接制备超高熔点高温合金致密膜/镀层,同时可通过改变电流密度、电沉积时间等参数来实现对薄膜厚度及微观形貌的控制。本发明方法具有流程短、能耗低等特点。
声明:
“制备Ti5Si3高温合金膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)