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对针孔的占有比例进行调节的溅射靶及其制造方法

962   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:35
本发明的目的在于,提供一种即使导入较高的输入电力也能减少溅射时产生的电弧,并且能有效地防止溅射靶自身破裂的溅射靶。本发明的溅射靶是通过粉末冶金方法制造的板状溅射靶,其特征在于,存在于该溅射靶内的针孔所占有的比例,在该溅射靶内的下表面一侧附近比上表面一侧附近更高。
声明：
“对针孔的占有比例进行调节的溅射靶及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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