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铝钛铌三元合金靶材及其制备方法

731   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:27
一种铝钛铌合金靶材及其制备方法，该铝钛铌靶材由以下原子百分比的原料制成：铝50%~75%；钛25~40%；铌0.5~25%。本发明还包括铝钛铌合金靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明利用铝、钛、铌之间原子扩散实现冶金结合，在温度和压力的共同作用下，获得致密度高的铝钛铌三元合金靶材，是一种短流程、易操作的粉末冶金靶材生产过程。
声明：
“铝钛铌三元合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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