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基于电催化性能提高Cr-Si高阻膜电阻器耐湿热性能的方法

1093   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:27
本发明公开了一种基于电催化性能提高Cr-Si高阻膜电阻器耐湿热性能的方法，首先以Cr粉、Si粉、Ni粉、Mo粉和W粉为原料，通过粉末冶金法制备Cr-Si基靶材，在中频真空冶炼炉中分别炼制Cr-Si-Ni靶材、Cr-Si-Ni-Mo靶材和Cr-Si-Ni-W靶材；再将靶材于磁控溅射镀膜机上制备电阻器高阻膜，并将高阻膜调至阻值为249kΩ，±0.5％；再以纳米二氧化硅增强型酚醛-环氧树脂复合涂料进行封装。本发明在高温、高湿条件下的电阻变化率为0.03％～0.16％。
声明：
“基于电催化性能提高Cr-Si高阻膜电阻器耐湿热性能的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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