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机械连接式溅射靶及其适配器

943   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:27
一种靶组件,其中溅射材料不是用焊接法或其它冶金方法接合于衬板(20)上的。而是以机械方式(例如用螺栓(45)将靶(30)连接于适配器(32)上,该靶(30)整个由单一的溅射材料制成,该适配器本身被永久性地固定在真空室(10)上。结果是,可以容易地从真空室上卸下和更换溅射靶,而并不需要卸下和更换衬板。
声明:
“机械连接式溅射靶及其适配器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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