本发明提供一种
太阳能电池减反射膜及其制造方法。该太阳能电池减反射膜包括:第一氮化硅层,覆盖于所述太阳能
电池片的表面;第二氮化硅层,覆盖于所述第一氮化硅层的上表面;以及第三氮化硅层,覆盖于所述第二氮化硅层的上表面。本发明的三层氮化硅减反射膜可产生良好的钝化效果,提高冶金
多晶硅电池片的短路电流,降低反向漏电流,提升光电转换效率;同时,本发明的制造方法通过采用间断性沉积技术,即在两层氮化硅薄膜的沉积之间增加一定的停顿时间,使得每层氮化硅薄膜的生长尽可能完整,制得的冶金多晶硅电池外观颜色更加均匀,可将电池片表面的色差率从原来的30%降至5%左右,大大提高了冶金多晶硅电池的合格率。
声明:
“用于太阳能电池片的减反射膜及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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