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硅的冶金化学精制方法

665   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:42:02
本发明涉及硅的精制和除杂方法,即从较低纯度的硅获得较高纯度、特别是低硼、低磷杂质含量的、满足半导体和电子元器件所需的纯度较高的硅原料的方法。现有的高纯硅制造方法,存在着能耗大、生成环境危害因子、成本高、工艺复杂、投资大等问题,本发明采用将硅材料和特定除杂剂制成的含硅熔体的方法,经精炼纯化,并使硅结晶分离,得到纯化的硅,经进一步除去除杂剂成分,获得可应用于半导体和电子元器件领域的高纯硅或硅晶体。适用于从各种纯度的硅或含硅材料制取高纯硅或硅晶体。
声明:
“硅的冶金化学精制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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