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以冶金法去除多晶硅造渣剂中硼元素的方法及制备的再生造渣剂

986   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:38:21
一种以冶金法去除多晶硅造渣剂中硼元素的方法,将废弃的多晶硅造渣剂与高纯硅料混合后,于中频感应炉中熔炼,1800~2200℃下搅拌并保温15~60min,使硼反扩散至硅中,后静置5~10min,将熔体倾倒至耐火容器中,冷却,切除硅料的一端,其余部分即为去除硼元素的多晶硅造渣剂。本发明的方法可有效去除多晶硅中的杂质硼元素,使其降低至0.5~2ppmw,可以达到造渣剂的水平,造渣剂的再生利用可降低整条生产线的成本5%以上,并能节约造渣剂成本10%以上。
声明:
“以冶金法去除多晶硅造渣剂中硼元素的方法及制备的再生造渣剂” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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