本发明涉及一种
粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法,属于金属材料的制备加工领域。首先按照成份比例配备合金原料,采用喷粉制备出AlSnCu合金粉末;将筛选后的粉末置入纯铝包套;进行真空除气;随后进行分段热等静压,即在125~225℃之间进行不低于100MPa的热等静压,不少于2小时;然后在460±5℃进行不低于100MPa的热等静压,不少于4小时;热等静压完成后的出炉温度不高于200℃;将致密化后的材料进行机械加工或者小变形量的挤压或者轧制,制得方便利用的材料形状。得到靶材的晶粒尺寸均匀、形状近等轴状、成分均匀、无明显织构,少或无缺陷和杂质,同时过程控制难度小、材料利用率高。
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