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可控生长六角星形单层MoS2的方法

1689   编辑:中冶有色网   来源:浙江大学杭州国际科创中心  
2022-04-28 16:18:53
权利要求 1.可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,包括:将纳米MoO 3均匀分布在碳布表面,碳布放置于石墨槽的底部,所述石墨槽放置于一个双温区石英管的高温区中,石墨槽顶部倒扣有衬底; 通过加热将石墨槽的MoO 3沉积于倒扣在石墨槽顶部的衬底表面,利用一定流速的载气将低温区形成的硫蒸汽携带至高温区的衬底,使MoO 3硫化得到六角星形的单层MoS 2。2.如权利要求1所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,所述纳米MoO 3的粒径尺寸为40-50 nm。 3.如权利要求1所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,将纳米MoO 3均匀分布在碳布表面的方法包括:将纳米MoO 3乙醇分散液滴在碳布表面,通过对石墨槽进行烘烤使得乙醇挥发,纳米MoO 3均匀分布在碳布表面。 4.如权利要求3所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,所述纳米MoO 3乙醇分散液经10 min以上的超声处理且MoO 3浓度为1-50 mg/mL,滴加至碳布表面的纳米MoO 3乙醇分散液的体积为20-40 μL。 5.如权利要求3所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,通过将石墨槽放置于加热板上烘烤来使乙醇挥发,烘烤温度为60-70℃。 6.如权利要求1所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,将0.8-1.2 g硫粉放置于石英舟内,石英舟放置于装载石墨槽的上游,低温区以8℃/min的加热速率升温至150-250℃来对硫粉进行加热,高温区以25℃/min的加热速率升温至700℃,再以10℃/min的加热速率升温至760℃来对石墨槽内的MoO 3进行加热从而进行硫化反应。 7.如权利要求1所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,所述载气为氩气、氮气或氩氢混合气体,流速为100-150 sccm。 8.如权利要求1所述的可控生长六角星形单层MoS 2的方法,其特征在于,所述衬底为SiO 2/Si衬底,所述衬底在使用前依次使
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