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采用冶金法多晶硅掺镓制作高效多晶硅片的方法

800   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:36:45
本发明公开一种采用冶金法多晶硅掺镓制作高效多晶硅片的方法,包括如下步骤:(1)在坩埚内壁上涂敷氮化硅涂层;(2)在坩埚内装入冶金法多晶硅料、化学法多晶硅料和镓掺杂剂,形成混合物;(3)将装有混合物的坩埚放入铸锭炉中,抽真空,加热,使混合物按照从上到下的顺序逐渐熔化;(4)进入长晶阶段后,调节铸锭炉中控温热电偶的温度和侧部隔热笼向上移动的速率,使热量向下辐射,从而使熔硅形成竖直向上的温度梯度而自下向上生长;(5)退火、冷却,即可得到掺镓冶金法多晶硅锭。实验证明:本发明的多晶硅锭少子寿命较高,位错密度低,成本较低。
声明:
“采用冶金法多晶硅掺镓制作高效多晶硅片的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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