本实用新型提供一种物理冶金
多晶硅太阳电池的钝化减反射结构,所述钝化减反射结构包括:二氧化硅层,覆盖于所述
太阳能电池的表面;第一氮化硅层,覆盖于所述二氧化硅层的上表面;第二氮化硅层,覆盖于所述第一氮化硅层的上表面;以及第三氮化硅层,覆盖于所述第二氮化硅层的上表面。本实用新型的钝化减反射结构应用于物理冶金多晶硅电池中,既能对电池表面起到良好的钝化减反射作用,提高电池少子寿命,降低电池因复合造成的效率损失;还能从电池工艺端有效降低电池漏电,同时还能增强电池抗腐蚀、防潮性能,延长电池的使用寿命。
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