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粉末冶金扩散焊接靶材

730   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:36:25
本实用新型公开了一种粉末冶金扩散焊接靶材，靶材结构为粉末冶金靶材/Mo或Mo合金背板，或为粉末冶金靶材/过渡层/Mo或Mo合金背板，各层间均为扩散焊接。所述粉末冶金靶材的材质为W或W合金、Cr或Cr合金、Ru或Ru合金；所述过渡层的材质为Ti或Ti合金、Mo或Mo合金，厚度为0.1～5mm；所述的背板Mo合金为Mo-W、Mo-Ta或Mo-Ti。本实用新型的粉末冶金扩散焊接靶材，焊接后靶材组件整体变形小、不开裂，靶材的可靠性高；焊接抗拉强度高，焊合率高，能够满足大功率溅射镀膜的使用需求。
声明：
“粉末冶金扩散焊接靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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