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硬质皮膜被覆部件及冶金工具以及靶

636   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:36:23
本发明提供一种耐磨损性优异的硬质皮膜被覆部件及使用该部件的冶金工具,以及用于形成硬质皮膜的靶。所述硬质皮膜被覆部件(1),其在基材(2)上具备硬质皮膜(3),其特征为,硬质皮膜(3)的组成由(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)构成,且所述R为选自Ho、Sm、Dy、La的一种以上的元素,在所述a、b、c、d、e、f、y、z为原子比时,满足0.05≤a≤0.3、0.05≤b≤0.3、0.4≤c≤0.65、0≤d≤0.05、0≤e≤0.05、0.005≤f≤0.05、a+b+c+d+e+f=1、0≤y≤0.3、0.7≤z≤1、y+z=1。
声明：
“硬质皮膜被覆部件及冶金工具以及靶” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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