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冶金法N型多晶硅片磷吸杂方法

964   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:36:22
一种冶金法N型多晶硅片磷吸杂方法,涉及一种多晶硅。提供一种吸杂效果较好、成本较低、操作简单,适合工业化生产的冶金法N型多晶硅片磷吸杂方法。将冶金法N型多晶硅片清洗,烘干;将得到的硅片在700～1200℃的温度下通入气体进行磷扩散吸杂热处理,然后冷却硅片;将得到的硅片浸泡在HF溶液中;将硅片用酸腐蚀液腐蚀吸杂层,清洗后吹干,烘烤,得磷吸杂后的多晶硅片。
声明：
“冶金法N型多晶硅片磷吸杂方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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