本发明属于
粉末冶金制备领域,特别涉及钛
铝合金靶材的粉末冶金制备方法。该钛铝合金靶材成分(原子比)为:TI∶AL=80%∶20%~TI∶AL=20%∶80%。上述钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法是采用雾化方法得到的钛
铝合金粉末或将钛粉和铝粉进行混料,然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成形,最后进行烧结过程和加工得到钛铝合金靶材。本发明钛铝合金靶材与现有熔铸靶材相比具有致密性好,无气孔、无疏松和偏析,成分均匀、晶粒细小,规格尺寸大等优点,适用于各种工模具所需的硬质涂层。
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