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混合气体微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法

1016   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:58
本发明涉及一种混合气体微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法,该方法包括以下步骤:(1)将冶金级硅粉进行超声清洗后,在室温下晾干,得到预处理硅粉;(2)将所述预处理硅粉放入微波等离子体提纯装置内的石英管中;(3)将所述石英管抽真空后,通过进气装置及洗气瓶向所述石英管通入混合气体;(4)20分钟后,打开电源开关,开启微波发射源,进行混合气体微波等离子体刻蚀实验,得到提纯后的冶金级多晶硅粉体;(5)刻蚀结束后,关闭所述电源开关及所述进气装置,待所述提纯后的冶金级多晶硅粉体自然冷却后取出,放入清洁无污染的环境中保存即可。本发明不但便于实现大规模的生产应用,而且有效降低了能耗及生产成本,同时也降低了提纯的难度。
声明：
“混合气体微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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