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太阳能级多晶硅的制造方法

1069   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:00
一种太阳能级多晶硅的制造方法，包括以下工艺步骤：将金属硅在高周波电磁诱导精炼炉中熔化为熔融硅；将熔融硅的温度升至1500－1600℃，在升温过程中间隔性地往熔融硅里面添加造渣剂；将硅料置于一次直拉炉装置中进行直拉，初次除去硅料中的金属杂质；将硅料置于连续进料真空熔炼炉中，在低于10－3Pa的真空状态下进行熔炼，除去其中的磷杂质；将硅料倾入二次直拉装置中进行二次直拉，再次除去硅料中的其它金属杂质，得到硅棒；切除硅棒尾部，即可得到6N以上提纯好的太阳能级多晶硅。本发明通过高周波电磁诱导精炼除硼，一次直拉去除部分金属杂质，通过连续真空除磷和二次直拉去除金属杂质来获得低成本的太阳能级多晶硅的生产。
声明：
“太阳能级多晶硅的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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