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采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法

1111   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:00
本发明属于多晶硅提纯领域，公开了一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法，包括：1)将待提纯硅粉放入20～35℃的氢氟酸和过氧化氢的混合液中浸泡1～2h，过滤、水洗、过滤、烘干；2)将步骤1)得到的粗提硅粉与金属铝和金属钙放入感应熔炼炉中，往炉体中通入惰性气体并使炉内温度升至1703～1783℃后保温1～10h，冷却至室温，得到硅铝钙合金；3)将步骤2)得到的硅铝钙合金研磨成粉之后依次采用混合酸Ⅰ和混合酸Ⅱ进行酸洗；4)将酸洗产物进行定向凝固，退火，得到二次精炼后的硅铝钙合金铸锭；5)将二次精炼后的硅铝钙合金铸锭切去头部的20～40％。本发明对于多晶硅中的杂质，特别是磷杂质，具有很好的去除效果，从而得到高纯度多晶硅。
声明：
“采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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