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采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法

1057   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:00
本发明属于多晶硅提纯领域,公开了一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法,包括:1)将待提纯硅粉放入20~35℃的氢氟酸和过氧化氢的混合液中浸泡1~2h,过滤、水洗、过滤、烘干;2)将步骤1)得到的粗提硅粉与金属铝和金属钙放入感应熔炼炉中,往炉体中通入惰性气体并使炉内温度升至1703~1783℃后保温1~10h,冷却至室温,得到硅铝钙合金;3)将步骤2)得到的硅铝钙合金研磨成粉之后依次采用混合酸Ⅰ和混合酸Ⅱ进行酸洗;4)将酸洗产物进行定向凝固,退火,得到二次精炼后的硅铝钙合金铸锭;5)将二次精炼后的硅铝钙合金铸锭切去头部的20~40%。本发明对于多晶硅中的杂质,特别是磷杂质,具有很好的去除效果,从而得到高纯度多晶硅。
声明:
“采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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