一种去除工业硅中硼磷杂质的方法,涉及一种工业硅的提纯方法。1)将渣料2预熔,渣料2为CaO-CaSi2;2)将渣料1压成渣球,将部分渣料1和工业硅放进坩埚,抽真空,开启中频感应电源加热使物料熔化,渣料1为SiO2-Na2CO3-CaF2;3)升高中频感应电源的功率至80~100kW,当温度在1300~1500℃时,将部分渣料2加入到坩埚中,通气搅拌,继续升高中频感应电源的功率至100~120kW,当温度在1600~1800℃时,将部分渣料1加入到坩埚中,再通气搅拌,降低功率到80kW,待温度下降;4)重复步骤3);5)造渣后将硅液倒入承接坩埚,静置冷却后取出硅锭,物理破碎得到提纯的
多晶硅锭。
声明:
“去除工业硅中硼磷杂质的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)