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碱性蚀刻液及其循环使用方法

1124   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:38
本发明公开了一种碱性蚀刻液及其循环使用方法，所述碱性蚀刻液包括氯化铜、有机胺、氧化剂、添加剂以及去离子水；每升碱性蚀刻液中氯化铜占10‑150g，有机胺占10‑200g，氧化剂1‑100g，添加剂占1‑100g，其余为去离子水。本发明的碱性蚀刻液，在使用过程中溶液是碱性，对设备要求不高；使用成本低，操作安全环保，检测控制系统简单；低侧蚀，蚀刻速度快；稳定性高。该方法采用膜分离技术和沉淀还原的技术相结合，可以很好的实现蚀刻液的循环再生利用，反应后的产物是氮气和水，不带入其它杂质，过滤沉淀铜后的滤液可以回用于配制新蚀刻液。
声明：
“碱性蚀刻液及其循环使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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