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新型的多晶硅熔炼炉

609   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:26
一种新型的多晶硅熔炼炉,使用了石英管作为壳体密封,极大的降低了系统的制造难度与费用,并使系统简单可用。该炉包括水冷顶盖、水冷底盖、石英管、下降机构、感应加热器、坩埚、保温设备。使用石英管做为壳体密封,使炉体内情况可以观察到,同时也降低炉体制造时间与成本。
声明：
“新型的多晶硅熔炼炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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