一种太阳能级
多晶硅脱磷的提纯方法,采用高真空感应炉,金属硅原料为颗粒状或块料,金属硅原料的纯度为99%,其操作步骤是:(1)开启高真空感应炉的真空系统,使炉室内达到高真空状态;(2)将金属硅原料装入位于高真空感应炉内的
石墨坩埚中,开启高频感应电源将金属硅熔化;(3)待第(2)步骤金属硅原料熔化后使金属硅液温度保持在1560~1600℃,需要保持多长时间?开启金属硅原料连续送料装置,投入剩余金属硅原料至炉内的石墨坩埚中进行连续脱磷;(4)脱磷后的金属硅熔体容积达到坩埚容积的2/3~3/4时,将金属硅熔体倾入同炉室内的另一坩埚中,自然冷却便得到脱磷多晶硅。本发明的生产成本低。
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