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感应和电子束熔炼去除多晶硅中杂质磷和硼的方法及装置

1138   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:26
本发明涉及感应和电子束熔炼去除多晶硅中杂质磷和硼的方法及装置,所述方法包括:用电子束熔炼方式去除硅中的杂质磷获得低磷多晶硅的步骤,再用感应线圈对低磷多晶硅进行熔炼,通过蒸发的方式去除多晶硅中的杂质硼从而获得低磷低硼多晶硅的步骤。它应用电子束和感应加热的方式去除多晶硅中杂质磷和硼,产量大,实现连续熔炼,磷硼杂质去除效果良好,去除效率高,同时有效应用了感应线圈加热温度高的特点,方法简单易行,集成了除磷和除硼的双重效果,提纯效果稳定,适合大规模生产工业生产。
声明：
“感应和电子束熔炼去除多晶硅中杂质磷和硼的方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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