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基于轴向磁场及超声处理制备太阳能级多晶硅的方法

978   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:20
一种基于轴向磁场及超声处理制备太阳能级多晶硅的方法，将冶金硅表面酸洗、蒸馏水清洗，干燥；将预处理的冶金硅装进高纯石英坩埚内并放入定向凝固炉中，抽真空；将炉温升高至1200～1350℃，保温；向炉腔充入惰性气体；升温至1500～1650℃，保温；得到硅熔体；将炉温降至1420～1570℃；引入轴向磁场和高能超声到硅熔体中；将坩埚以1～20μm/s的速率抽拉出加热区，开始长晶；长晶结束后，关闭励磁系统和停止超声处理，将炉腔内温度降至1000～1300℃；关闭加热系统，冷却。本发明得到的多晶硅材料组织中硅晶粒粗大且垂直于坩埚底部，缺陷少，杂质含量低；工艺成本低、简单；安全可靠、无污染；操作方便。
声明：
“基于轴向磁场及超声处理制备太阳能级多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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